史珺博士：多晶硅鑄錠的加熱和熔硅過程
多晶硅鑄錠通常分為加熱、熔料、高溫穩定、結晶、退火、冷卻等六個階段。本文介紹加熱和熔料兩個過程。 （一）加熱準備 裝好料后，再對爐內進行一遍檢查，即可開爐。一般來說，要先對爐子進行抽真空。真空泵逐級打開后，開始通電加溫。抽真空的過程雖然
（二）硅料熔化硅料在熔化時，由于需要吸收大量的熱量，因此，在熔點附近，溫度上升會很慢。要注意，通常，硅的熔點是1414℃，但在熔化時，硅的溫度通常要高出1420 ℃，才有可能使硅順利熔化。否則，硅料可能發生熔化后，由于周圍的硅還是固體，又開始凝固的現象，這就是為什么有時溫度會出現上下反復的情況；因為，硅料在熔化時，有時局部在熔化后，溫度會超出熔點很多，但周圍可能還有沒有熔化的硅塊；當熔化的硅液流到硅塊下面后，硅塊又露出來，導致紅外測溫儀顯示的溫度又低于熔點。
這樣的現象往往持續幾個小時，持續的時間與加熱器功率有關。有時，當絕大部分硅料熔化時，還有一些較大的硅塊未熔化，一旦這些硅塊漂到測溫儀的視場中，則會發生紅外測溫儀顯示的溫度突然下降的現象，嚴重時甚至會使紅外顯示溫度低于硅液溫度50 ℃以上。此時，不要誤解為硅液又凝固了，可能只是暫時的現象而已。
解決熔化不完全的方法就是一直加大功率到硅液完全熔化為止。通常，將硅液升溫到1490 ℃，然后保持一段時間，待從紅外測溫儀看到硅液表面變得清澈以后，再開始降溫。待硅液全部熔化后，即進入真空熔煉的過程了。
（三） 粉料的熔化
在鑄錠的過程中，有時會遇到粉料。這些粉料通常是FDR循環流化床工藝中產生的。由于粉料的價格比較便宜，因此，不少鑄錠廠家希望能夠對粉料進行鑄錠。對于粉料的處理，需要十分注意。因為，粉料在大氣狀態下很容易被真空泵所產生的氣流帶起來在爐內飛揚，硅粉飛揚不僅會造成硅料的浪費，在飛揚過程中硅粉還會沾在加熱件、保溫體上，這樣，一旦這些硅粉熔化，很容易滲入石墨材料和保溫材料，導致加熱件和保溫體損壞；此外，硅粉的飛揚會隨著氣體到真空泵力，導致真空泵的損壞。因此，在對粉料的熔煉過程中，要嚴防粉料的飛揚。
作者： 來源：新浪 責任編輯：gaoting
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