太陽能發電網訊 日前，東方集成在上海某研究所成功安裝了SENTECH SI500D等離子體沉積系統。SI500D等離子沉積系統是ICP-PECVD設備，用于在基片上沉積 SiOx, SiOxNy或 SiNy薄膜。沉積薄膜的厚度、折射率、應力可以簡單的、連續的調節。

　　據介紹，這是帶LOADLOCK的SI500D等離子沉積系統在中國的第一次安裝。SENTECH ICP-PECVD設備的安裝，由德國原廠技術支持工程師和東方集成工程師共同完成，由SENTECH和東方集成共同承擔售后保修，具有標志性的歷史意義。
　　北京東方中科集成科技股份有限公司（簡稱“東方集成”）是在中關村科技園區注冊的高新技術企業，是中國電子測試與科學分析領域領先的綜合服務商，是SENTECH中國區的重要戰略合作伙伴。公司客戶涉及工業電子制造、文教科研、通信以及信息技術、微電子、新能源、生物醫藥等多個領域，通過與知名廠商的合作，為客戶提供產品增值銷售、應用解決方案、科技租賃、計量校準、維修維護和科技資產外包管理等綜合服務。