北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司　　　　

　　太陽能發(fā)電網(wǎng)訊：2012年11月15日，由SEMI中國和北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司(以下簡稱“七星電子”)聯(lián)合舉辦的，2012泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)媒體沙龍活動在七星電子總部舉行。

　　七星電子張總致歡迎詞，并向媒體簡單介紹了七星電子。北京七星電子成立于2001年，于2012年3月在深交所成果上市，是一家以集成電路制造工藝技術(shù)為核心，以大規(guī)模集成電路制造設(shè)備、混合集成電路和電子元件為主營業(yè)務(wù)，集研發(fā)，生產(chǎn)，銷售及服務(wù)于一體的大型綜合性高科技公司。

　　七星電子空港IC研發(fā)中心劉總介紹：“七星電子研制的國內(nèi)首臺300mm立式氧化爐設(shè)備，應(yīng)用于集成電路生產(chǎn)線90/65mm工藝中的20~1000埃氧化膜生長及退火等工藝”。

　　七星電子應(yīng)用在超大規(guī)模集成電路硅片制成的銅互連工藝階段的300mm65nm銅互連清洗設(shè)備，其設(shè)備技術(shù)指標(biāo)已達到國際同類產(chǎn)品先進水平。該設(shè)備采用單片多腔室結(jié)構(gòu)，具有占地面積小、結(jié)構(gòu)緊湊、高度自動化、超強穩(wěn)定性等優(yōu)點。

　　微電子設(shè)備分公司李總介紹：“七星電子在高效薄膜設(shè)備及工藝、晶硅自動化技術(shù)方面，已掌握核心技術(shù)，以良好的質(zhì)量與服務(wù)裝配了國內(nèi)外多條生產(chǎn)線”。據(jù)了解，七星電子涉及光伏的主要產(chǎn)品包括：單晶爐、多晶硅鑄錠爐、擴散爐、PECVD、制絨清洗機、去PSG清洗機、石英管清洗機、石墨舟清洗機等。尤其在光伏大規(guī)模生產(chǎn)線上得到大量使用，其技術(shù)水平、產(chǎn)能、成本控制及自動化程度都已達到世界領(lǐng)先水平。

　　七星電子研發(fā)的SSD8571A擴散爐，采用了高精度、智能化、多點控溫技術(shù)，保證了對爐內(nèi)溫度控制的快速穩(wěn)定，確保了控溫數(shù)據(jù)的快速反應(yīng)以及準(zhǔn)確性。自動壓力平衡裝置，是爐內(nèi)外壓差為定值，且可根據(jù)工藝需求改變設(shè)定，從而提高了工藝均勻性以及工藝擴展性。設(shè)備單片COO下降20%，單位綜合能耗下降20%以上，設(shè)備安全運行時間實屬國內(nèi)領(lǐng)先，設(shè)備維護成本低廉。在客戶現(xiàn)場運行的實驗數(shù)據(jù)一直處于國內(nèi)領(lǐng)先水平，設(shè)置趕超國際一線廠商的水準(zhǔn)。該設(shè)備實現(xiàn)了MES與設(shè)備端的數(shù)據(jù)交互。

　　同時，七星電子研發(fā)的SSP8471A管式PECVD為單管產(chǎn)能全球最高設(shè)備，電池片轉(zhuǎn)換效率高，屬于世界先進水平。該設(shè)備具有獨特的射頻引入方式，且全自動運行并預(yù)留倒片接口。設(shè)備工藝均勻性高，差異小于3%，配備了全自動上下料系統(tǒng)，碎片率≤0.1%(人為失誤及隱裂片除外)。此外，UPTIME≥95%(總時間-政策維護時間-異常停機)/總時間。該設(shè)備也實現(xiàn)了MES與設(shè)備的數(shù)據(jù)交互。

　　關(guān)于北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司

　　北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司(簡稱“七星電子”)是國內(nèi)知名電子專用設(shè)備供應(yīng)商，是我國最早的半導(dǎo)體設(shè)備研制企業(yè)，是我國第一臺半導(dǎo)體擴散爐、第一臺等離子刻蝕機、第一臺氣體質(zhì)量流量控制器研制企業(yè)，也是我國最早的半導(dǎo)體清洗設(shè)備研制企業(yè)，完成國內(nèi)首條半導(dǎo)體生產(chǎn)線中6項關(guān)鍵設(shè)備的研發(fā)制造。

　　七星電子是國內(nèi)重要的電子專用設(shè)備供應(yīng)商，在集成電路制造設(shè)備、太陽能電池制造設(shè)備、TFT-LCD面板制造設(shè)備、電真空制造設(shè)備、鋰離子電池設(shè)備和其他質(zhì)量流量計主要技術(shù)和關(guān)鍵技術(shù)上市領(lǐng)軍企業(yè)。

　　目前，七星電子已成長為我國電子專用設(shè)備龍頭企業(yè)之一，是中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會理事長單位、北京電子制造裝備行業(yè)協(xié)會會長單位、SEMI行業(yè)協(xié)會會員。